大規(guī)模集成電路硅基智能制造新模式項(xiàng)目MES子項(xiàng)目

北京天拓四方科技有限公司是國內(nèi)先進(jìn)的智能制造整體解決方案服務(wù)供應(yīng)商及智能制造領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。天拓四方能為廣大工業(yè)企業(yè)、政府提供自動化控制、電氣傳動及智能制造主營業(yè)務(wù)解決方案,并提供集系統(tǒng)集成、數(shù)字化工廠/產(chǎn)線規(guī)劃與項(xiàng)目實(shí)施、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺及工業(yè)大數(shù)據(jù)等智能制造整體解決方案。

一、項(xiàng)目建設(shè)情況介紹

***(因與客戶簽訂了保密協(xié)議,故用*號代替客戶名稱)半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)是目前中國最大的半導(dǎo)體硅材料生產(chǎn)基地之一,大規(guī)模生產(chǎn)集成電路級硅拋光片,其生產(chǎn)規(guī)模和技術(shù)水平、管理水平目前在國際、國內(nèi)同類產(chǎn)品中處于領(lǐng)先地位,為積極響應(yīng)我國“中國制造2025”戰(zhàn)略重點(diǎn)——“芯片國產(chǎn)化”大戰(zhàn)略實(shí)施,突破高端芯片制造技術(shù)壁壘,重點(diǎn)推進(jìn)打造“自主可控+工業(yè)互聯(lián)+智能制造”的芯片制造數(shù)字化工廠,實(shí)現(xiàn)世界先進(jìn)半導(dǎo)體供應(yīng)商定位成為該企業(yè)近年的戰(zhàn)略愿景。

在此背景下,企業(yè)根據(jù)生產(chǎn)業(yè)務(wù)要求,進(jìn)行MES系統(tǒng)的建設(shè),覆蓋單晶區(qū)域、切磨區(qū)域、拋光區(qū)域、潔凈區(qū)域整個(gè)生產(chǎn)流程的關(guān)鍵業(yè)務(wù)、生產(chǎn)設(shè)備、檢測設(shè)備、機(jī)器人識別系統(tǒng)等,建立管理業(yè)務(wù)、生產(chǎn)業(yè)務(wù)、物流業(yè)務(wù)全網(wǎng)管控系統(tǒng),將生產(chǎn)現(xiàn)場設(shè)備的狀態(tài)信息、加工參數(shù)、人員信息、物料信息、計(jì)劃執(zhí)行情況、異常事件等生產(chǎn)狀態(tài)在安燈系統(tǒng)中直觀展現(xiàn),管理人員通過車間監(jiān)控大屏、PC終端可以一目了然地獲取工廠生產(chǎn)運(yùn)行情況,提高生產(chǎn)過程透明度。

二、項(xiàng)目實(shí)施方案/技術(shù)路線

2.1總體架構(gòu)

(1)在“工業(yè)4.0”及“中國制造2025”的推進(jìn)下,結(jié)合我司在半導(dǎo)體行業(yè)積累的深厚知識體系,為企業(yè)設(shè)計(jì)自動化、數(shù)字化、智能化的數(shù)字化工廠智能平臺,助力企業(yè)打造核心智能制造能力。

圖1 系統(tǒng)總體架構(gòu)

(2)既支持集團(tuán)集中部署、各分工廠分布式應(yīng)用,又支持分工廠獨(dú)立部署等多種靈活部署架構(gòu),形成對各分廠生產(chǎn)的實(shí)時(shí)監(jiān)控和數(shù)據(jù)采集,集團(tuán)對海量生產(chǎn)數(shù)據(jù)的大數(shù)據(jù)分析、決策管理。

圖2 系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)

(3)提供豐富的集成接口供外部系統(tǒng)連接集成使用,支持OPC 、TIA、OAG、S95/B2MML等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,使用可擴(kuò)展標(biāo)記語言,實(shí)現(xiàn)企業(yè)應(yīng)用集成框架或其他應(yīng)用系統(tǒng)之間的直接連接。

圖3 系統(tǒng)集成架構(gòu)

2.2技術(shù)方案

按照“整體設(shè)計(jì),分步實(shí)施”原則,設(shè)計(jì)時(shí)需要整體考慮業(yè)務(wù)關(guān)聯(lián)和未來應(yīng)用,MES系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)方案如下:

(1)生產(chǎn)計(jì)劃管理:對生產(chǎn)過程進(jìn)行規(guī)劃與控制,指導(dǎo)企業(yè)計(jì)劃期內(nèi)生產(chǎn)活動的綱領(lǐng)性方案。

(2)現(xiàn)場執(zhí)行管理:以批次為主線實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程的控制,以工藝路線和物料清單(BOM)為核心,對產(chǎn)品生產(chǎn)過程及物料使用等情況實(shí)現(xiàn)可選擇的防錯(cuò)、防漏、防呆功能。

(3)生產(chǎn)質(zhì)量管理:通過工藝指定檢驗(yàn)工序進(jìn)行工序檢驗(yàn),并記錄實(shí)際值進(jìn)行采集自動預(yù)警;對各道關(guān)鍵工序進(jìn)行的檢驗(yàn),對產(chǎn)品質(zhì)量做出判定,嚴(yán)格控制產(chǎn)品質(zhì)量,符合規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)的要求,杜絕質(zhì)量事件發(fā)生。

(4)生產(chǎn)設(shè)備管理:通過設(shè)備聯(lián)機(jī),自動統(tǒng)計(jì)每臺設(shè)備、核心部件使用次數(shù),實(shí)現(xiàn)智能預(yù)防保養(yǎng)。

(5)生產(chǎn)看板管理:將工廠數(shù)字化模型、車間/產(chǎn)線生產(chǎn)計(jì)劃、計(jì)劃產(chǎn)量、實(shí)際產(chǎn)量、質(zhì)量、合格率、報(bào)警等信息通過智能顯示屏展示出來,以供車間、生產(chǎn)調(diào)度室、調(diào)度指揮中心、職能部門及高層領(lǐng)導(dǎo)辦公室先關(guān)人員使用。

(6)生產(chǎn)報(bào)表管理:將各類生產(chǎn)計(jì)劃信息、進(jìn)度信息、完工信息、產(chǎn)量信息和圖形分析等以直觀、實(shí)時(shí)、統(tǒng)一的方式展現(xiàn)給所有人員。

(7)系統(tǒng)集成管理:用微服務(wù)方式來滿足本次項(xiàng)目的數(shù)據(jù)集成需要,ERP系統(tǒng)將生產(chǎn)訂單信息及工序參數(shù)卡信息下發(fā)Camstar MES,MES將生產(chǎn)過程中7個(gè)關(guān)鍵工藝點(diǎn)信息回傳ERP。同時(shí)MES與ERP備品備件模塊集成,能夠?qū)崟r(shí)獲取ERP中備品備件庫存信息。

(8)用戶權(quán)限管理:MES系統(tǒng)安全管理綜合考慮各方面的安全、權(quán)限配置、菜單管理、用戶定制化需求問題。全面分析整個(gè)系統(tǒng),并保證各部門在進(jìn)行制造,運(yùn)行的決策時(shí)可正常使用。

2.3核心工藝

(1)MES系統(tǒng)是基于Siemens Camstar框架的平臺化的軟件套件,它提供完善的平臺管理功能和二次開發(fā)支持功能,以保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性、安全性和可擴(kuò)展性,在國際半導(dǎo)體行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用,并且通過眾多國際半導(dǎo)體客戶多年的應(yīng)用驗(yàn)證了其實(shí)用性、可靠性、穩(wěn)定性。

(2)其除了標(biāo)準(zhǔn)的Portal操作頁面外,還包括:服務(wù)器配置管理工具、Designer標(biāo)準(zhǔn)開發(fā)工具、Portal Studio標(biāo)準(zhǔn)前臺開發(fā)工具、標(biāo)準(zhǔn)化菜單配置工具、制造審計(jì)跟蹤配置工具、數(shù)據(jù)采集開發(fā)工具、Excel標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)導(dǎo)入工具等,各種平臺化的標(biāo)準(zhǔn)工具滿足系統(tǒng)日常應(yīng)用、維護(hù)使用。

三、項(xiàng)目實(shí)施效果

MES系統(tǒng)實(shí)施后,將為硅拋光片車間建立生產(chǎn)的大數(shù)據(jù)平臺,實(shí)現(xiàn)全流程生產(chǎn)追蹤,實(shí)現(xiàn)全面質(zhì)量管控,形成工藝改進(jìn)和制造閉環(huán),為企業(yè)建立起智能制造的數(shù)據(jù)支撐;為企業(yè)建立起從物料AQL到生產(chǎn)過程中的物料全過程追溯、生產(chǎn)全過程質(zhì)量管控,再到成品出貨的產(chǎn)品生產(chǎn)全生命周期管理。為企業(yè)從傳統(tǒng)的單一品種大批量生產(chǎn)向多品種小批量生產(chǎn)方式的轉(zhuǎn)變奠定了基礎(chǔ),從而實(shí)現(xiàn)企業(yè)在保質(zhì)、保量的前提下快速交貨的目標(biāo),并且為企業(yè)實(shí)現(xiàn)智能制造工廠奠定了基礎(chǔ)。

具體表現(xiàn)如下:

(1)打通ERP、MES、WMS、設(shè)備自動化信息鏈路,信息反應(yīng)能力提高60%。

(2)工藝路線可配置,動態(tài)路由選擇,生產(chǎn)組織管理效率提高55%。

(3)規(guī)劃完整的檢驗(yàn)代碼,建立全面的質(zhì)量體系,產(chǎn)品質(zhì)量提高37%。

(4)動態(tài)、柔性的設(shè)備運(yùn)營管理,大幅提高設(shè)備OEE,以及設(shè)備的可維護(hù)性。

四、案例的行業(yè)推廣性

通過在半導(dǎo)體硅材料生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行智能制造MES系統(tǒng)建設(shè),將業(yè)界領(lǐng)先的數(shù)字化智能制造技術(shù)與半導(dǎo)體硅材料企業(yè)制造業(yè)務(wù)結(jié)合、應(yīng)用,全面賦能半導(dǎo)體硅材料行業(yè)的數(shù)字化轉(zhuǎn)型升級;建立全面的生產(chǎn)過程管控體系,實(shí)現(xiàn)正向逆向可追溯機(jī)制,構(gòu)建企業(yè)大數(shù)據(jù)分析模型,用數(shù)據(jù)驅(qū)動企業(yè)高層決策,提升產(chǎn)品和營銷價(jià)值;平衡技術(shù)能力與生產(chǎn)能力,優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu),顯著提高企業(yè)生產(chǎn)效率和產(chǎn)品市場競爭力。

通過研發(fā)與制造打通來提升制造質(zhì)量和效率,以設(shè)計(jì)與制造數(shù)字化融合為整體建設(shè)架構(gòu)進(jìn)行布局規(guī)劃,使企業(yè)邁向數(shù)字化工廠之路。實(shí)現(xiàn)對生產(chǎn)管理業(yè)務(wù)全面信息化支撐,提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本,使得企業(yè)始終以最經(jīng)濟(jì)、優(yōu)化的方式生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)企業(yè)卓越運(yùn)營,生產(chǎn)效率提升15%,經(jīng)濟(jì)效益提升25%以上。

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